解決方案

MEMS微型氣體傳感器芯片

  伴隨著國家空氣質量指標、各行業大氣污染物排放標準的頒布實施,以及國家對大氣環境污染惡化的重視,生產企業必須肩負起自己的社會責任。但大氣污染源具有復雜性,污染物具有流動性,采用少數幾個具有傳統大型檢測儀器的檢測站點來監控排放,幾乎是毫無用處的。為實現大氣污染治理改善,需要對環境空氣質量實行高密度實時監控。

  另外,隨著環境空氣質量的惡化和呼吸系統疾病的巨增,人們對自己居住空間的有害氣體含量越來越關注。許多高檔社區、醫院與商場等公共場所對自身及周圍環境實施了監管;部分高檔汽車廠家已經對車內空氣質量實施了監控;另有幾家手機廠家已經或正在開發空氣質量監控的個人穿戴式應用,手機的應用將打開氣體傳感器應用巨大市場的想象空間。

  目前,MEMS氣體傳感器在國外也只是剛剛興起,在國內則還停留在大學、研究所試驗室階段,這些國內試驗室多數考慮的是發表論文、獲取科研項目,缺乏產業化的知識和視野。國內多數大學、研究所的這種局限性決定了他們很難制造出商業化的MEMS氣體傳感器及衍生產品。

  巨正MEMS氣體傳感器批量制造,替代進口產品,并通過持續研發,實現產品國際領先水平。

  這種新型的氣體傳感器將MEMS技術和納米技術結合起來,具有小尺寸、低功耗、快速相應、高靈敏度、高選擇性、高穩定性、低成本,是便攜式應用和高密度實時監控應用的理想選擇。

 

        

 

  MEMS結構示意圖

 

  具體性能參數:

  低成本;

  微體積(芯片大小2*2mm,封裝尺寸5*5*1.3mm);

  高靈敏度(0.1-2ppm);

  非常低的功耗;

  長期穩定性;

  長壽命(MEMS的工作壽命大于10000小時);

  技術領先(結合厚膜技術、薄膜技術和硅襯底技術,利用專利配方的氣體銘感層沉積于加熱器和叉指電極的頂部);

  提供包括整合應用電路在內的完成的氣體傳感器應用模塊;

  提供移動終端數據接入與訪問接口。

 

解決方案

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